Mit einem Rasterelektronenmikroskop (REM) und einem Rasterkraftmikroskop (AFM)3.4 wurden die Probenoberflächen nach der Strukturierungsprozedur untersucht. Die Bewertung der Strukturierung erfolgte mit Hilfe der zweidimensionalen Fouriertransformation. Zusätzlich wurden Messungen des magneto-optischen Kerr-Effekts (MOKE) durchgeführt, da eine Änderung der magnetischen Eigenschaften der strukturierten Schicht zu erwarten ist.
Alle diese Methoden sind Standard-Analyseverfahren. Die folgenden Abschnitte behandeln die Besonderheiten dieser Analysemethoden im Hinblick auf die Untersuchung nanostrukturierter Oberflächen.