Bewertungsystem

Die Bewertung der Proben erfolgt im REM durch einen selbstdefinierten und standardisierten Untersuchungsprozeß. Zuerst wird jede Probe auf allgemeine Fehler und Probleme im Herstellungsverfahren untersucht. Nur einwandfrei hergestellte Proben werden mit dem weiteren Bewertungsverfahren analysiert. An mindestens 3 verschiedenen Stellen wird die Oberfläche der Probe kontrolliert. Dabei entstehen etwa 10 bis 20 Aufnahmen pro Probe. Einerseits werden bestmögliche Aufnahmen von strukturierten Oberflächen erstellt, andererseits werden Besonderheiten (z.B. Risse in der Oberfläche) festgehalten.

Die nächsten Schritte im Bewertungsprozeß werden am Computer mit dem Bildbearbeitungsprogramm GIMP durchgeführt. Zuerst werden die drei besten Bilder einer Probe ausgewählt und zusätzlich alle Bilder, die Besonderheiten zeigen. Nach dem oben beschriebenen Verfahren erfolgt, zur Kontrolle der Regelmäßigkeit der Struktur, eine Fouriertransformation der besten Bilder. Aufgrund der Güte der Fouriertransformation, den Besonderheiten der Probe und dem Gesamteindruck im REM wird eine Einteilung der Proben in die folgenden drei Klassen vorgenommen:

1. Die Strukturierung der Oberfläche ist nicht erfolgreich. Auch mit Hilfe der Fourierfilterung kann keine hexagonal strukturierte Oberfläche gefunden werden. Die verwendeten Ätzparameter sind daher für die Strukturierung des Materials nicht geeignet (siehe z.B. Abbildung 3.2 auf Seite ).
2. Die Strukturierung der Oberfläche ist nur in begrenztem Umfang erfolgreich. Der Fourierfilterprozeß zeigt zwar teilweise eine hexagonale Struktur, jedoch ist diese entweder von schlechter Qualität oder nur an wenigen Stellen zu finden. Die verwendeten Ätzparameter sind für die Strukturierung des Materials nur in sehr begrenztem Umfang geeignet (ohne Abbildung).
3. Die Strukturierung der Oberfläche ist erfolgreich. Die hexagonale Struktur ist schon ohne Fourierfilterprozeß zu sehen und wird dadurch weiter verstärkt. Die Strukturierung gelingt an allen untersuchten Stellen der Probe. Die verwendeten Ätzparameter sind sehr gut für die Strukturierung des Materials geeignet (siehe z.B. Abbildung 3.1 auf Seite ).