Schichtdicke

Die Schichtdicke des Metalls wird im wesentlichen durch zwei Faktoren eingegrenzt: Durch die Dicke des HPI-layers und durch die Forderung nach einer zusammenhängenden Schicht ohne Löcher. Wie in Kapitel 1.1.3 beschrieben, ist der HPI-layer 6nm dick. Für einen Strukturübertrag vom HPI-layer auf die Metallschicht und um die Konturschärfe zu erhalten, sollte die Schicht nicht dicker als die Maske, also nicht dicker als 6nm sein. Weiterhin ist es erwünscht, regelmäßige Nanostrukturen zu erzeugen. Dafür ist eine zusammenhängende Metallschicht wichtig. Die Grenze, ab welcher Schichtdicke die Metallschicht zusammenhängend ist, unterscheidet sich je nach Schichtherstellungsverfahren und verwendetem Metall. Von einem Sputterverfahren ausgehend, sollte die Schicht aus mindestens 4 Atomlagen bestehen und wäre damit für die magnetischen Metalle mindestens 0,5nm dick [55,39]. Die Dicke $d$ der Metallschicht sollte also in dem Bereich:

$$0,5\,\textrm{nm} \leq d \leq 6\,\textrm{nm}$$ (2.1)

liegen.