Tabellenverzeichnis

1. Sputterparameter der verwendeten Metalle
2. Eingestellte Argonionendichten $\varrho _A$ für die jeweilige Spannung $U_A$ und die daraus resultierenden Werte für die Strahlungsdichte $\varepsilon _A$.
3. Bereiche der deponierten Energiedichte $\Phi _A$, in denen durch das Argonionenätzen regelmäßige Nanostrukturen gebildet werden und Anzahl der untersuchten Proben pro Material.